光刻機的工作原理
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文章出處:萬志宇責任編輯:HE
發表時間:2016-08-09 10:00:00
一般來說是用激光。比如說要在玻璃上刻蝕圖形,大致步驟為:清洗玻璃、干燥、在玻璃上涂覆光致抗蝕劑(即光刻膠有正性和負性之分)、干燥(固化)、曝光(方式很多,如激光直寫、通過掩模板同時曝光等)、去膠(光刻膠曝光后性質發生光化學變化,去膠的方法也很多,如放在刻蝕劑中,用正性膠的話,被光照到的地方就會被溶解,沒有光照到的地方光刻膠保留下來,到這里就已經在光刻膠上刻蝕出了所需圖形)、清洗、轉移
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